一、技术参数：减震能力：满足6英寸晶圆测试。采用薄膜式空气弹簧隔振原理，可有效消除振动干扰，隔振效率高。超薄、精巧的设计，外观简洁、安置携带方便。高刚性的搭载面，使搭载的仪器更加稳固配置三个调高阀，可以自动调整水平平台尺寸：550mm×650mm(支持定制化尺寸）平台高度：60mm均匀负载：≤150kg供给气压：********～********附件：高精度低频低漏电探针3根，10V下漏电流小于等于100fA。附件：电学转接头25个，与现有MPI6英寸探针台电学兼容，且满足低漏电需求。二、质疑与答复：供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购****网站查询****网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：********@******** 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：袁老师。逾期不予受理。

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