甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目国际招标公告

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日期：2024-08-06 收藏项目

*. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购单片式化学清洗机*套、全自动去胶剥离机*套、晶圆清洗机*套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

*. 招标内容：

招标项目名称：甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目（重招）

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	备注
*	单片式化学清洗机	*套	主要用于成膜前/后清洗、刻蚀前/后清洗、离子注入前/后清洗、扩散前/后清洗、标准***清洗、晶圆背面清洗，并兼容非金属去胶工艺等。	/
*	全自动去胶剥离机	*套	主要用于微纳器件**-*制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶覆盖区域的金属图形。	/
*	晶圆清洗机	*套	主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（*）前后、物理气相沉积（）前后、化学机械拋光（**）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。	/

*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。

*. 投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；

是否接受联合体投标：不接受；

未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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