1

能谱仪

5台

1.探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥100mm²。

2.探测器窗口：高分子超薄窗设计，无Si元素、N元素杂峰。

3.重元素能量分辨率：Mn Ka优于127eV，符合ISO 15632:2012标准。

4. 轻元素能量分辨率：在50,000 cps下，F Ka 优于59eV，C Ka 优于46eV，符合ISO 15632:2012标准。

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2

大面积实时能谱仪

1台

1.探测器：有效面积≥170mm²；

2.探测器窗口：高分子超薄窗设计，无Si元素、N元素杂峰；

3.重元素能量分辨率：Mn Ka优于127eV， 符合ISO 15632:2012标准；

4. 轻元素能量分辨率：在50,000 cps下，F Ka 优于59eV，C Ka 优于46eV，符合ISO 15632:2012标准。

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3

高分辨型电子背散射衍射仪

1台

1、采用高速低噪音CMOS或类似相机；

2、最高花样分辨率优于1k*1k；

3、EBSD在线解析最高标定速度不低于600pps；

 4、取向精度≤0.06度。

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4

全能型电子背散射衍射仪

1台

1.采用高速低噪音CMOS或类似相机；

2.最高花样分辨率优于1k*1k；

3.EBSD在线解析最高标定速度不低于5700pps；

4.取向精度≤0.06度；

5.采用专门定制的光纤传导系统，光通量大于透镜模组，适合弱信号分析；

6.探测器Z轴可通过软件在+/-5 度范围内调整。

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