东南大学电子科学与工程学院扫描电子显微镜(配有电子束曝光模块)采购项目招标公告
日期:2025-06-19
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一、项目基本情况 项目编号:0664-2540SUMECZF086 项目名称:东南大学电子科学与工程学院扫描电子显微镜(配有电子束曝光模块)采购 预算金额:680.******** 万元(人民币) 最高限价(如有):660.******** 万元(人民币) 采购需求:电子科学与工程学院采购扫描电子显微镜(配有电子束曝光模块)1套,主要技术参数如下:1)离子源种类:采用液态 Ga离子源,最大加速电压≥30kV;离子束最大电流≥100nA;离子束分辨率≤********@30kV(统计测量法,采集数据基础>2000 个边缘点);2)电子束源:采用肖特基热场发射电子束源,最大电子束能量≥30keV;加速电压:********连续可调,且着陆电压:20eV-30keV(非样品台减速模式);电子束分辨率≤******** nm@15kV;≤********@1kV(非样品台减速模式状态下多边统计法);3) 最小光刻线宽≤15 nm;(A2 PMMA 类似光刻胶),套刻精度≤40nm。本项目接受进口产品。本项目所属行业:工业。本项目(非专门)面向中小企业采购。本项目(非专门)面向监狱企业采购。本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。项目编号:0664-2540SUMECZF086(SEU-ZB-********)最高限价:660万元(境内外产品最高限价均为此限价,其中境外产品不含外贸代理费),超过最高限价的为无效投标文件。 合同履行期限:境外产品:开具信用证后90天内设备安装调试合格。境内产品:合同签订后90天内设备安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求:(1)如为进口产品,需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动:(1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。(2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目的采购活动。(3)供应商被“****网站、“中****网”(********)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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