子注入机尾气处理装置(二次招标)进行公开招标。2.项目概况与招标范围 项目概况与招标范围：PECVD&离子注入机尾气处理装置CVD尾气处理装置：10台，IMP尾气处理装置：1台 招标编号：0730-254********3-55包名称：PECVD&离子注入机尾气处理装置(二次招标)数量：CVD尾气处理装置：10台，IMP尾气处理装置：1台简要技术要求：（..

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