本招标项目等离子体增强化学气相沉积设备,招标人为武汉天马微电子有限公司上海分公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对等离子体增强化学气相沉积设备进行公开招标。

2.项目概况与招标范围 

项目概况与招标范围：等离子体增强化学气相沉积设备 2台 

招标编号：073

包名称：等离子体增强化学气相沉积设备

数量：2台

简要技术要求：（1）所购PECVD系统主要用于OLED的薄膜封装； （2）主要构成部分：TC腔*2，CVD成膜腔*2，MC腔*2，BC腔*2，L/L*2，U/L*2； （3）膜层种类：SiNx、SiON、SiOx、成膜温度80℃~100℃。 

3.投标人资格要求 

3.1 投标人资格要求：（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2011月至今必须有同类型设备50 台以上销售记录（同类型设备指：PECVD,LPCVD,MOCVD），用户反映效果良好（投标人需要提供业绩证明资料） 。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标：不接受联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取 

4.1 获取：2025-06-06 00:00至2025-06-13 23:59

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止（开标）：2025-06-27 09:30

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
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