采购公告

公告编号：DZXYGG202505260013

一、采购项目基本情况

采购人：润西微电子（重庆）有限公司

采购项目编号：DZCGXY202505260009

采购项目名称：DRY ETCH LAM TOOL Service

采购内容或范围：

二、供应商资格要求

1. 资格:1、业绩要求：
a)2023年至今有12吋晶圆制造厂，LAM2300系列机台（包括Kiyo45，Flex45，Metal，Metal45）Trouble Shooting服务，机台翻新订单，不包含PM或更换零备件服务，需提供人力服务订单或者合同，作为业绩佐证
2、人员资质要求
a)至少1人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验10年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。
b)至少3人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，其中至少1人具备工艺调试相关经验5年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。
c)现场工程师必须具备LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，入厂前需提交其履历承诺函，并盖公司印章，由我司确认后方可入厂。
3、备件库存率要求
a)LAM2300系列机台国内零备件率>90%，包括耗材和非耗材，含贵重部件如：RFG/Match等RF Loop备件，ATM/VTM Robot等传送部件，Turbo Pump，阀件等真空部件，DC电源/PCB，需提供库存清单，或备件机台照片及序列号并盖公司印章，作为佐证。

三、采购文件的获取

采购文件在注册后查看发布，不再另行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者请自行登录注册后查看查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交/报价截止： 2025-06-10 08:00:00 （北京，若有变化另行通知）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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