1、招标条件
项目概况:设备名称：标准清洗湿台
设备数量：1台
设备原理及用途：本设备适用于6寸与8寸晶圆腐蚀氮化硅氧化硅清洗工艺，采用H3PO4、H2SO4、HF、BOE、H2O2、HCL和NH4OH溶液通过化学反应达到清洗腐蚀的作用。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2540SUMECA83/07
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之标准清洗湿台
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	标准清洗湿台	1	标准清洗湿台按照设备结构可分为设备主体系统、清洗腐蚀系统、干燥系统、机械传输系统、废液排放系统、排风系统、控制系统、安全系统等部分组成。其他参数详见第八章	无

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2025-05-14
招标文件领购结束:2025-05-21

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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