1、招标条件
项目概况:购置HF气相刻蚀设备1套。
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目名称:HF气相刻蚀设备采购项目
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	HF气相刻蚀设备	1套	*5.4.1催化剂：水作催化剂，没有添加任何其他催化剂。*5.4.2释放良率：无黏附的干法释放，Mems结构100%完全释放。*5.4.3刻蚀速率：悬臂结构大于0.3 um/min；空白暴露氧化硅大于0.1um/min。*5.4.4片内均匀性≤5% 1。*5.4.5片间均匀性≤5%1。*5.4.6选择比：对PECVD氮化硅30:1。	交货：合同生效后43周内

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:详见投标资料表。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2025-05-13
招标文件领购结束:2025-05-20
招标文件售价:￥800/$110

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
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