1、招标条件
项目概况:设备名称：在线修调系统
数量：1套
设备原理及用途
a.设备原理
激光调阻是指通过激光能量、斑点大小、移动速度、修调形状等编程设置切割电阻，改变电阻结构尺寸从而改变电阻的阻值。运用激光微调技术配合晶圆测试系统自动完成晶圆测试-修调-测试流程，实现自动在线对晶圆片上电阻进行微调，以使电阻达到精确的目标阻值，主要针对薄膜电阻，例如硅镍、硅铬等电阻材料。
b.设备用途
用于运算放大器晶圆制程薄膜电阻在线修调（自动完成晶圆测试-修调-测试流程）。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之在线修调系统
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	在线修调系统	1	支持硅片厚度300um～1000um的6吋和8吋晶圆手动上下片。其他参数详见第八章	无

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2025-05-09
招标文件领购结束:2025-05-20

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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