范围：线宽测量仪4台 招标编号：0730-254********3-52包名称：线宽测量仪数量：4台简要技术要求：（1）用于测量TFT线宽和TPOT的线宽、曝光套刻精度，并能够自动把曝光套刻精度和线宽的测量数据反馈给曝光机；（2）基板尺寸：全板1500mm*1850mm，半板1500mm*********(一片或两片)；（3）设备有静电消除器安装位置。 3.投标人资...

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