序号

货物名称

数量

简要技术规格

备注

1

300千伏电子单色双球差校正透射电子显微镜

1台

TEM信息分辨率：≤110 pm @ 30 kV；≤100 pm @ 60 kV； ≤80 pm @ 200 kV；≤65 pm @ 300 kV；STEM分辨率：≤125 pm @ 30 kV; ≤96 pm @ 60 kV; ≤60 pm @ 200 kV; ≤55pm @ 300 kV；能量分辨率： 50 meV @ 300 kV，25 meV @ 60 kV

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2

200千伏高分辨场发射透射电镜

1台

电子枪类型：亮度高稳定度的冷场场发射电子枪；TEM信息分辨率：≤ 0.11 nm，STEM分辨率：≤0.14 nm；能谱探测器总立体角：≥ 0.9 srd ;能谱能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)

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3

聚焦离子束扫描电子显微镜（Xe）

1台

电子束重合点下分辨率：0.6 nm @ 15 kV，1.2 nm @ 1 kV；最佳工作距离下，低电压分辨率：0.7nm @ 1kV（二次电子）；最佳工作距离下，超低电压分辨率：1.0 nm @ 500 V（二次电子）；离子束分辨率：≤10 nm @ 30 kV

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4

多功能高分辨率场发射扫描电镜

3台

高电压分辨率：≤0.7 nm @ 15 kV（非减速模式）；                                    ≤0.5 nm @ 15kV（减速模式）；电压分辨率：≤0.9 nm @ 1 k V；≤0.8 nm @ 0.5-1 kV (减速模式)；电子着陆能量：20 eV 至 30 keV；

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5

多功能环境真空场发射扫描电子显微镜

1台

高真空分辨率：≤1.0 nm @ 30 kV（SE模式）；≤2.5 nm @ 30 kV (BSE模式)；≤3.0 nm @ 1 kV (SE模式);低真空分辨率：≤1.3 nm @ 30 kV；≤3.0nm @ 3 kV;环境真空分辨率：≤1.3nm @ 30kV；

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6

超高分辨场发射扫描电子显微镜

1台

高电压分辨率≤0.6nm @ 2-15kV（二次电子）；低电压分辨率≤0.7nm @ 1kV（二次电子）（非减速模式）；超低电压分辨率≤1.0nm @ 500V（二次电子）（非减速模式）；电子能量波动≤0.2eV；电子枪类型：高分辨肖特基场发射电子枪，配备单色器组件，或冷场FEG

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