光面积：6英寸；********光源：紫外LED，曝光波长：365nm：10-25mW/cm2；********分辨率：1um；对准精度：±********（双面，片厚********）±********（单面）2、洁净烘箱********容积（L）：70LX2双腔体；********温度：RT20～250℃多段程序控制。3、匀胶烘胶一体机********集成匀胶机及可编程热板一体化设备；********匀胶机样品尺寸支持6英寸（150mm）圆晶及以下尺寸.

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