一、项目基本情况 项目编号：2025BFAHZ******** 项目名称：安徽工业大学智慧教学及先进技术设备更新项目（一） 首次公告日期：2025年03月2 二、更正信息 更正事项：☑ 采购公告    ☑ 采购文件   □ 采购结果 更正内容： 1、本项目招标文件第三章采购需求-“▲X射线光电子能谱仪（XPS）”技术参数及要求修改如下： 序号 货物名称 技术参数及要求 1 ▲X射线光电子能谱仪（XPS） 1. 真空系统 ******** 分析室 ******** 真空腔体为厚度不小于 5mm 纯μ金属制造， 极限真空≤********×10-10 mbar； ******** 配置机械泵，涡轮分子泵（抽速260升/秒）及钛升华泵各一套。 ******** 进样室 ******** 极限真空≤********×10-9 mbar； ******** 配置涡轮分子泵和机械泵各一套； ******** 样品制备室 ●******** 极限真空≤********×10-9 mbar； ******** 配置涡轮分子泵和机械泵各一套； ******** 配备自动真空烘烤装置； ******** 真空监测装置：可实现大气至********×10-10 mbar范围内压力连续测量，同时各真空腔室压力实时显示于系统软件界面上。 2. 单色化X射线源 ******** X射线源类型：微聚焦单色化Al Kα X射线源 ●******** X射线源-源束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥5档； ●******** 分析束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥12档； ******** 最佳能量分辨率和灵敏度：以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤******** eV时，计数率≥90 kcps； ******** 常规能量分辨率和灵敏度 ******** 以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤******** eV时，计数率≥160 kcps； ******** 以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤******** eV时，计数率≥1800 kcps； ******** 阳极靶靶点应≥16个。 3. 能量分析器 ******** 180°半球型能量分析器，半径≥150 mm； ******** 能量扫描范围：0 ~ 3000 eV； ******** 通过能范围：0 ~ 400 eV，连续可调； ●******** 透镜模式：配置磁透镜模式和静电模式。 4. 检测器 ********结构组成：至少配置一块可同时记录光电子发射位置及其强度的检测器； ********检测器信号线性范围：最高计数率≥107cps； ******** 检测器物理通道数至少满足：128×128； ●********具备成像功能，对边缘锐利的刃口样品线扫描的最佳空间分辨率≤********μm； 5. 荷电中和系统 ******** 荷电中和系统适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和，无需调节电压、束流和气压等操作； ******** 结构组成 ******** 提供单电子源，中和电子能量不大于5 eV； ●******** 提供超低能离子源，中和离子能量不大于5 eV； ●******** 能量分辨率和灵敏度： 对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C 1s峰能量分辨（半高宽）≤********时，C-C/C-H结构中 C 1s峰的灵敏度≥20 kcps。 6. 样品控制和观察系统 ******** 样品台 ******** 轴向：五轴样品台，即X、Y、Z方向移动，倾斜和旋转，由计算机自动控制； ******** 移动功能：X方向移动距离≥50 mm， Y方向移动距离≥20 mm， Z方向移动距离≥8 mm，移动精度≤1 μm，倾斜精度≤1°； ******** 样品观察 ●******** 分析室：配置变焦CCD相机，通过软件控制可在不同的放大倍率下实时观察、精确定位分析位置和截取图像；通过可变焦CCD相机和实时成像系统确定分析位置，软件可自动确定最佳的分析高度； ********配置 CCD 相机，可观察、精确定位分析位置和截取图像； ******** 进样室和样品制备室均配置可一次装入并存储3个样品条的多样品停放台。 7. 深度剖析离子枪 ******** 离子源类型：配置单Ar原子和团簇Ar双模式的复合离子源； ******** 可使用气体：Ar/Ar团簇，用于XPS深度剖析； ******** 单Ar离子能量在******** ~ ******** keV之间可调； ******** 团簇Ar离子能量在******** ~ ******** keV之间可调； ******** 团簇Ar离子团簇数目在500 ~ 2000之间可调； ******** 气体控制：软件控制，配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。 8. 离子散射谱（ISS）功能 ******** 离子源：可使用He气作为分析离子源； ●******** 能量分辨和灵敏度：使用1 keV的He离子入射到清洁的 Au 表面上，Au峰的能量分辨≤12 eV时其灵敏度≥25 kcps/nA。 9. 反射电子能量损失谱（REELS）功能 ******** 能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率为******** eV 时，灵敏度应≥1000 kcps。 10. 紫外光电子能谱（UPS）功能 ******** 光源：全自动He紫外光源； ●******** 最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag费米边，当能量分辨率≤100 meV时，灵敏度（Ag4d）≥1 Mcps； ********系统配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的静电模式中和源。 11. 角分辨 XPS 功能 ******** 配置步进马达样品托，最佳角度分辨≤1°； ******** 内置角分辨 XPS 数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。 12. 光纤导入模块 ******** 该模块需采用标准的 CF 接口，用于引入光纤； ******** 预留光纤芯径≥600 μm，波长范围200~1200 nm，最大功率≥1 W； ******** 配备一套线性驱动和扭摆装置，用于调节样品上光斑位置及焦点； ******** 配备氙灯光源，光谱能量连续输出，能量范围200-2000 nm。 13. 加热制冷附件 ******** 分析室配备加热制冷附件和控制软件； ******** 样品托温度调节范围至少满足：-100℃~325℃，自动控温，温度控制精度1℃。 14. 等离子体清洗装置 ******** 功能要求：需能够有效清除腔体内附着的污染物； ******** 安装法兰：nw35cf全金属密封法兰，带未漏阀。 15. 谱仪控制和数据处理 ******** 谱仪控制 ******** 谱仪参数设置、分析部件等均可通过系统软件控制； ******** 系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪及加热冷却等控制； ******** 仪器控制终端1台，用于操控仪器运行及数据收集，配置不低于8GB内存/1TB硬盘/23 英寸显示器； ******** 数据处理 ******** 提供嵌入系统数据分析软件中的完整XPS和ISS等数据库，用户可直接调用标准谱图数据与原始测试数据进行对比； ******** 数据处理终端1台，用于数据处理和存储，配置不低于8GB内存/1TB硬盘/23 英寸显示器，其中显示器不少于2个； ******** 软件终生升级，提供正版不受限全功能完整版数据处理软件包≥2个，（费用含在报价中）。 16. 附件、备件及辅助设备 ******** 消耗品备件包3套（每套至少包括但不限于以下内容：阳极靶套件× 1，单色阳极灯丝× 1，荷电中和器套件× 1，离子枪灯丝套件×2， REELS电子枪灯丝×1，钛升华泵灯丝×6，机械泵油4升，循环水滤芯2个等），标准工具包1套，密封组件1套，减压阀4个（材质：黄铜×2，黄铜镍电镀×2）； ******** 循环冷却水系统：满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要，恒温范围：8-35℃，循环泵流量：******** L/min； ******** 不间断电源系统： 功率不低于10kV不间断电源1套，保证仪器待机≥6小时，工作≥1小时； ******** 空气/水分敏感样品转移仓2套，可完全放置于仪器主机的进样仓内，具有高真空密封组件； ******** 电动粉末压片机1套（压力范围 0-20吨）； ******** 电子防潮柜1套（综合控湿：45%-70% RH），电脑桌椅2套； ******** 除湿机1台（除湿量（L/D）≤30），彩色双面激光打印机 1台（打印速度：黑白和彩色均为 22页/min；打印分辨率：最高可达1200×1200 DPI）； ******** 设备安装时必要的物理###路。 17. 整体配置清单 ******** XPS主机系统 1套 ******** 复合式离子刻蚀套件 1套 ******** 紫外光电子能谱套件 1套 ******** 分析室加热冷却套件 1套 ******** 空气/水分敏感样品转移仓 2套 ******** 光纤导入系统（含氙灯光源） 1套 ******** 低温等离子清洗系统 1套 ******** 循环冷却水系统 1套 ******** 不间断电源系统 1套 ******** 电动粉末压片机 1套 ******** 电子防潮柜 1套 ******** 消耗品备件包 3套 ******** 除湿机 1台 2、本项目招标文件第四章评标方法和标准-“技术参数及要求”和“业绩”评分项修改如下： 评分内容 评分标准 分值范围 技术参数及要求 根据投标文件对招标文件采购需求货物需求表中的“●”指标的响应情况进行评分： ●指标，每满足一项得5分，共10项，共计50分。 注：（1）如某项标识中包含多条技术参数或要求，则该项标识所含内容均需满足或优于招标文件要求，否则不予认可。 （2）以投标响应表和货物需求中要求提供的证明材料作为评审依据。 0-50分 业绩 自2022年1月以来（以合同签订为准），投标人具有所投产品（同品牌可不同型号）的供货安装项目业绩，每提供1个业绩得 1 分，满分5分。 注：投标文件中提供业绩合同及验收合格证明材料扫描件，如合同及验收合格证明材料中无法体现产品品牌、合同签订等评审因素，须另附业主单位盖章的证明文件扫描件。 0-5分 3、本项目获取招标文件和提交（上传）投标文件截止（开标）延期至：2025年5月13日11点00分。 4、本项目提交（上传）投标文件地点（开标地点）变更为###市滨湖###路2588号要###市场A区（徽州大###路交口）2楼8号开标室。 更正日期：2025年04月2

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