恒温恒湿微污处理系统二次招标公告
日期:2025-04-15
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统(二次招标)进行公开招标。2.项目概况与招标范围 项目概况与招标范围:恒温恒湿微污处理系统5台(Array4台、TPOT1台) 招标编号:0730-254********3-29包名称:恒温恒湿微污处理系统(二次招标)数量:5台(Array4台、TPOT1台)简要技术要求:(1)主要在曝光机进风口前及lamphouse外围,增加一套过滤系统,能够有效去除PGMEA及.
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