围：涡轮分子泵151台 招标编号：0730-254********3-34包名称：涡轮分子泵数量：151台简要技术要求：（1）本设备应用于干刻、离子注入设备工艺腔真空处理过程；（2）干刻机台使用涡轮分子泵共124台，其中备用泵30台；（3）离子注入机台机台使用涡轮分子泵共27台，其中备用泵3台。 3.投标人资格要求 ********投标人资格要求：（********

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