概况与招标范围 项目概况与招标范围：恒温恒湿微污处理系统5台（Array4台、TPOT1台） 招标编号：0730-254********3-29包名称：恒温恒湿微污处理系统数量：5台（Array4台、TPOT1台）简要技术要求：（1）主要在曝光机进风口前及lamphouse外围，增加一套过滤系统，能够有效去除PGMEA及酸碱气体，保证进入曝光机内部气体的洁净度...

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