1台（plasma腔用干泵数量：6台；Loadlock腔与工艺传送腔用干泵数量：25台）资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0730-254********3/24招标项目名称:蒸镀机干泵项目实施地点:中国福建省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1蒸镀机干泵31台（********

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