招标范围：扫描式曝光机1台 招标编号：0730-254********3-13包名称：扫描式曝光机数量：1台简要技术要求：（1）此次采购机台主要用于TPOT曝光系统，主要用途为通过曝光过程，将光罩上设计的图形完整转移至基板光阻上，完整的意义为大小与位置皆符合设计规格；（2）基板尺寸：需可单独对应1张1500mm*********及同时对应2张********

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