全反射X射线荧光光谱仪(TXRF)招标公告
日期:2025-03-21
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行国际公开招标采购。1.招标范围********货物名称:全反射X射线荧光光谱仪(TXRF)********招标编号:***-***************主要功能要求:主要用于辅助实现晶圆生产、加工工艺过程质量监控,也可用于工艺设备的金属沾污分析。该设备激发产生的X射线以很低的角度(如********°)入射到晶圆表面,激发出荧光,对荧光进行能谱分析及强度计算,.
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