1、招标条件
项目概况:包1 8吋特征尺寸测量用扫描电子显微镜 1台；
ReviewSEM设备 1台；
包2 8吋金属刻蚀设备 1台；
包3 8吋钨化学机械研磨设备 1台；
包4 8吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备 1台；
8吋金属有机物化学气相沉积设备 1台；
包5 8吋钝化层二氧化硅沉积设备 1台；
8吋钝化层氮化硅沉积设备 1台；
8吋SACVD（USG&HARPUSG）膜沉积设备 1台；
8吋SACVD BPSG膜沉积设备 1台。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:8吋钨化学机械研磨设备
项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
包1	8吋特征尺寸测量用扫描电子显微镜	1台	详见招标文件
	ReviewSEM设备	1台	详见招标文件
包2	8吋金属刻蚀设备	1台	详见招标文件
包3	8吋钨化学机械研磨设备	1台	详见招标文件
包4	8吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备	1台	详见招标文件
	8吋金属有机物化学气相沉积设备	1台	详见招标文件
包5	8吋钝化层二氧化硅沉积设备	1台	详见招标文件
	8吋钝化层氮化硅沉积设备	1台	详见招标文件
	8吋SACVD（USG&HARPUSG）膜沉积设备	1台	详见招标文件
	8吋SACVD BPSG膜沉积设备	1台	详见招标文件

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）、投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
2）、如为代理商投标，需具有设备制造厂商的有效授权书。
3）、投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
4）、投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供证明材料或承诺书，承诺书格式自理）。
5）、单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2025-03-04
招标文件领购结束:2025-03-11

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联系人：刘欣
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