1、招标条件
项目概况:用于晶圆厚度、厚度均匀性、弯曲度，多层膜厚及表面形貌、粗糙度、关键尺寸等测量。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:上海交通大学自动晶圆厚度及表面形貌测量系统采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	自动晶圆厚度及表面形貌测量系统	1套	2.2 样品工作台*（1）可放置12寸及以下任意尺寸晶圆包括碎片，全自动移动范围：≥450mm*305mm；	/

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:3.1投标人或制造商（如适用）有效的营业执照
3.2本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书
3.3参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2025-02-28
招标文件领购结束:2025-03-07

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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