一、项目基本情况

项目名称：zycgr24041501感应耦合等离子体刻蚀机及感应耦合等离子体增强化学气相沉积设备采购项目

预算金额：1110.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：1110.000000 万元（人民币）

采购需求：

序号	货物 名称	数量	简要技术规格要求	是否允许采购进口产品	最高限价 (万元)
1	感应耦合等离子体刻蚀机（III-V族化合物）	1套	适用于8英寸晶圆或可用于更小的晶圆或碎片的载片器，配置可由研发需求的单腔升级至Cassette上料的多腔Cluster机型	是	385
2	感应耦合等离子体刻蚀机（金属）	1套	适用于8英寸晶圆或可用于更小的晶圆或碎片的载片器，配置可由研发需求的单腔升级至Cassette上料的多腔Cluster机型	是	385
3	感应耦合等离子体增强化学气相沉积	1套	用于在硅、化合物半导体等8英寸衬底上沉积高质量、高致密度和低应力的介质薄膜，例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等	是	340

注：本项目共分为1个包，投标人须以包为单位对相应包全部内容进行投标，不得拆分、转包、分包，评标、授标以包为单位。

合同履行期限：交付：合同生效后10个月内。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库【2020】46号）规定，对小型和微型企业产品的价格给予10%的扣除，用扣除后的价格参与评审。执行《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库68号）第二条规定，监狱企业视同小型、微型企业，享受预留份额、评审中价格扣除等政府采购促进中小企业发展的政府采购政策。执行《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）的规定，落实支持残疾人福利性单位发展政策，在政府采购活动中，残疾人福利性单位视同小型、微型企业，享受预留份额、评审中价格扣除等促进中小企业发展的政府采购政策。但残疾人福利性单位本身属于小型、微型企业的，不重复享受政策。上述三项价格扣除优惠不得重复享受。

3.本项目的特定资格要求：3.1.供应商须为在中华人民共和国境内注册，具有独立承担民事责任和履行合同能力，能够合法提供本采购项目货物和服务的独立法人企事业单位；3.2.供应商所投产品如为进口产品且为代理商投标，应提供设备制造商或其在中国的分/子公司出具的授权函；3.3.供应商须提供授权委托人由社保部门出具的投标截止之日起前三个月内任意一月(不含投标当月)在投标单位的社保缴费证明复印件并加盖公章；3.4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。3）拒绝被“信用中国”网站、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商参与政府采购活动。

三、获取招标文件

：2025年02月0  至 2025年02月1，每天9:00至11:00，14:00至17:00。（北京，法定节假日除外）……

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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