一、项目基本情况

项目名称：zycgr24041501电感耦合增强原子层沉积系统和原子层沉积系统采购项目

预算金额：520.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：520.000000 万元（人民币）

采购需求：

1、采购项目的名称、数量：

包号	品目	货物 名称	数量	用途	是否允许采购进口产品	采购 预算 (万元)
1	品目1	电感耦合增强原子层沉积系统	1套	用于超材料的氮化物、金属等功能薄膜材料制备和深宽比结构填充等，采用远程ICP电感耦合等离子体增强的原子层沉积方法，可以在同一个制程工艺中等离子体法和热法生长任意切换，制备出超薄、均匀性好、致密性高的原子尺度的纳米薄膜，从而实现超材料表面和微纳结构表面上高质量薄膜的精细调控。	是	360
	品目2	原子层沉积系统	1套	用于超材料的在硅片及微纳光学基片Pattern上热法制备和填充氧化铝，氧化钛及钛铝氧掺杂等High-K介电薄膜，从而实现微纳结构表面的精细调控，对超表面微纳器件的发展具有举足轻重的作用，同时可以促进材料科学、物理学、微纳光学等领域的交叉研究与创新。	是	160

注：投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分、转包、分包，评标、授标以包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第五章）。

2、技术要求详见公告附件。

合同履行期限：合同签订后6个月内。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求：1）投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。2）投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3）代理商投标必须有制造厂家授权（仅针对允许采购进口产品并且是进口产品投标的产品）；4）投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5）投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9）本项目不接受联合体投标。

三、获取招标文件

：2025年01月1  至 2025年01月2，每天9:00至11:00，13:00至17:00。（北京，法定节假日除外）……

售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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