预算金额：350.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：338.000000 万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：微纳平台采购接近/接触式光刻系统一套，主要技术要求如下：

最大衬底尺寸：6英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片；支持6“晶圆键合的夹具一套。

曝光光源：UV LED曝光光源支持 365nm(i线)， 405nm(h线)， 435nm(g线），支持输出光谱的任意编辑，可以控制每种波长的输出光强在关闭或者15%~100%之间调节。配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求，可在同一设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光，两种模式随时切换，切换在5分钟以内。

分辨率：优于0.8um (i线，光刻胶厚度1um，真空接触，等间距图形)。 优于2.5um (i线，光刻胶厚度1um，曝光间隙20um，等间距图形)。

光强均匀度：优于±2.5％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少9个点。正面对准精度±0.5um，背面对准精度±1.0um。

接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

合同履行期限：境外产品：开具信用证后90天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后90天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：3.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无。3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：（1）代理商投标且所投产品为进口产品的，还应提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书，并明确承担一切售前、售后责任。3.4第3.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

：2012月2  至 2012月2，每天9:00至11:30，13:30至17:30。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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