预算金额:1460.000000 万元(人民币)
最高限价(如有):1460.000000 万元(人民币)
采购需求:
本项目采购一套高级型原子层沉积系统(ALD)。
采购项目的名称、数量:
包号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
是否允许采购进口产品 |
1 |
高级型原子层沉积系统(ALD) |
1套 |
1、装片尺寸:8英寸且向下兼容6英寸,并方便装片尺寸切换; 2、反应腔体数量:≥2,并可拓展反应腔体数量≥4; 3、腔体种类:热反应腔≥1,等离子体模式反应腔≥1; 4、腔体功能:满足氧化物,氮化物,金属等薄膜沉积; 5、叠层沉积:无需出腔,通过全自动真空机械手实现自动双腔(或多腔)连续沉积; 6、厚度不均匀性:氧化物薄膜≤1%(1σ,8英寸晶圆5毫米边缘除外);氮化物或金属薄膜≤3%(1σ,8英寸晶圆5毫米边缘除外); 7、温度及温控:温度范围50-500 ℃,温控精度±1℃; |
否 |
本项目具体技术规格要求详见招标文件第五章。
合同履行期限:合同签订后6个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库【2020】46号)规定,对小型和微型企业产品的价格给予10%的扣除,用扣除后的价格参与评审。执行《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库68号)第二条规定,监狱企业视同小型、微型企业,享受预留份额、评审中价格扣除等政府采购促进中小企业发展的政府采购政策。执行《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库〔2017〕141号)的规定,落实支持残疾人福利性单位发展政策,在政府采购活动中,残疾人福利性单位视同小型、微型企业,享受预留份额、评审中价格扣除等促进中小企业发展的政府采购政策。但残疾人福利性单位本身属于小型、微型企业的,不重复享受政策。上述三项价格扣除优惠不得重复享受。
3.本项目的特定资格要求:3.1.供应商须为在中华人民共和国境内注册,具有独立承担民事责任和履行合同能力,能够合法提供本采购项目货物和服务的独立法人企事业单位;3.2.供应商须提供授权委托人的由有关部门出具的209月~20
11月的社保缴费证明(公司成立不足三个月的则提供自成立之日起法定代表人授权代表的社保缴费证明)复印件加盖公章;3.3.拒绝下述供应商参加本次采购活动:1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目的采购活动。3)拒绝被“信用中国”网站、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商参与政府采购活动。
三、获取招标文件
:20
12月1
至 20
12月1
,每天
9:00至11:00,
14:00至17:00。(北京
,法定节假日除外)
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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