一、项目信息采购人：暨南大学　项目名称：暨南大学光子技术研究院二维计量光栅刻蚀服务拟采购的货物或者服务的说明：在光栅制备过程中，光栅刻蚀是光栅制备环节中一个必不可少的环节，大尺寸光栅的刻蚀需要有相应的刻蚀设备、工艺能力及经验，还要一系列配套设备及成熟的工艺链条。由于我们的采购数量少，要求高，紧迫，目前国内，安徽中科光****公司有大尺寸刻蚀设备、能够响应所有刻蚀参数，适用于二维计量光栅刻蚀服务。拟采购的货物或服务的预算金额：82.******** 万元（人民币）采用单一来源采购方式的原因及说明:二维计量光栅刻蚀尺寸为370mm*470mm*10mm，刻蚀周期为2048nm，刻蚀占空比为********，刻蚀深度220nm±5nm，刻蚀均匀性＜2%，单片灰化、刻蚀、酸洗工期为10天。由于我们的采购数量少，要求高，紧迫，目前国内有大尺寸刻蚀设备、能够响应上述所有刻蚀参****公司为安徽中科光****公司。综上，该项目符合《中华人民共和国政府采购法》第三十一条：“只能从唯一供应商处采购的”情形，拟采用单一来源采购方式进行采购。二、拟定供应商信息名称：安徽中科光****公司地址：安徽######县长临河科创小镇1号3#楼

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