于5E-5Pa；3.配备保护内罩和防污染装置，避免材料之间的相互污染；4.样片尺寸：最大可放置尺寸8inch样片；5.配置分子泵，对N2的抽速不小于1100L/S；6.配置机械泵，对的抽速不小于35m3/h，额定转速不小于1750rpm；7.配备3inch靶安装孔位；8.薄膜均匀性≤±2%；9.配备全量程和皮拉尼真空计；10.配备膜厚监测装置，可自动实现沉..

本招标项目仅供正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，联系工作人员办理入网升级。
联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn