招标公告

1. 招标条件

本招标项目锗硅外延设备及关键零部件招标人为西南技术物理研究所，招标项目资金来自自筹资金100%。该项目已具备招标条件，现对锗硅外延设备及关键零部件采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1项目编号：C11

2.2 招标编号：ZKX

2.3 招标项目名称：锗硅外延设备及关键零部件。

2.4 数量：1套。

2.5 主要功能要求：

锗硅外延设备（含配套设备）能够实现低于大气压的恒定压强条件下薄层硅基材料的外延生长，并利用温控系统将工艺腔室承片基盘温度稳定在特定温度范围内，配合高均匀度的气体流量控制，实现晶圆规格8英寸（或以上）、硅基外延层生长厚度0.05~5μm的硅基材料化学气相外延及原位掺杂功能，并具备组分可调的锗硅外延生长功能。

2.6 交货地点：西南技术物理研究所。

2.7 交货期：合同生效后1年内。

3. 投标人资格要求

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 资质要求：/。

3.3 财务要求：投标人应具有健全的财务制度， 投标人为企业单位的提供近3年（2021年至2023年）经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，成立不足3年的提供成立以来的经审计的财务会计报表，上述财务会计报表至少应包括审计报告正文（审计报告必须由会计师事务所盖章、注册会计师签名和盖章，未经签字盖章的审计报告视为无效审计报告，投标将被否决）、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件，缺一不可。投标人的成立少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可不提供。

3.4 业绩要求：投标人应提供2021年至今已签订的与本次招标类似产品供货合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订、标的物名称等主要内容（合同供货方为投标人或其代理的制造商）。未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

3.5 其它要求：本次招标接受代理商投标。

3.6本次招标不接受联合体投标。

4. 招标文件的获取

4.1 凡有意参加投标者，请于2011月2至2011月217时(北京，下同)，购买招标文件。

4.2 招标文件每套售价800元，文件售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止（投标截止，下同）：2012月19时30分(北京)。

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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