北京理工大学原子层可控生长系统采购项目招标公告

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日期：2024-11-14 收藏项目

一、项目基本情况：

项目编号：BMCC

项目名称：北京理工大学原子层可控生长系统采购

预算金额：200万元

采购需求：

品目序号

标的名称

简要技术需求

预算

（万元）

数量

是否接受进口

原子层可控生长系统

1. 反应腔为真空双腔结构，内外双腔均为真空结构，配置可拆卸内反应腔；

2.载物台直径≥215mm（内腔直径≥215mm），最大可放置直径6英寸晶圆, 并兼容4英寸及以下的晶圆片和碎片样片；

3.反应温度：加热温度最高可到500℃，温度控制精度±1℃，配置温度传感器；

4.全自动单碟式真空（LOADLOCK）样品传输系统，配有自动两轴运动机械手，真空取/送样室。

200

1套

否

其他：投标人应对招标文件中“第六章货物需求及技术需求”中所有内容进行投标，不得将其中的内容拆开投标，否则其投标将被拒绝。

交货：合同签订后12

二、申请人的资格要求：

1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2、落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1、中小企业政策：本项目专门面向小微企业采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的小微企业制造、服务全部由符合政策要求的小微企业承接。

2.2、其它落实政府采购政策的资格要求：无；

3、本项目的特定资格要求：本项目不接受联合体投标；投标人应遵守

国家有关法律、法规、规章和政府采购有关的规章；投标人须按公告规定获取招标文件。

三、获取招标文件：

：2011月 15 日至20 11 月 22 日，9:00至11:30；13:00至17:00（北京,法定节假日除外）。

四、提交投标文件截止、开标

提交投标文件截止、开标：20 12月14：00分（北京）。

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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