中国电子科技集团公司第四十四研究所全反射X射线荧光光谱仪(TXRF)招标公告

日期：2024-11-13 收藏项目

1. 招标范围

1.1 货物名称：全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）

1.2 招标编号：注册后查看

1.3 主要功能要求：主要用于辅助实现晶圆生产、加工工艺过程质量监控，也可用于工艺设备的金属沾污分析。该设备激发产生的X射线以很低的角度（如0.05°）入射到晶圆表面，激发出荧光，对荧光进行能谱分析及强度计算，从而分析出晶圆表面各元素的沾污量。须具备广泛的元素分析范围，元素分析范围包含11Na~99U中的部分碱金属元素、过渡金属元素和重金属元素，至少包含对钠、铝、钾、钙、钛、铬、铁、镍、铜、锌、银、镉、钨、铂、金、汞、铅元素的检测能力。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同生效后10个月内。

1.6 项目现场：重庆市沙坪坝区西永大道23号中国电子科技集团公司第四十四研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2011月13日至2011月217时(北京)购买并下载招标文件。