序号

标的名称

数量

单位

简要技术需求

备注

1

原子层薄膜沉积系统

1

套

主要用于薄膜沉积，包括在集成电路、微机电系统、光学、化学和工业领域等的应用，且所沉积的材料覆盖从氧化物(例如SiO2、HfO2、Al2O3等)、氮化物(Si3N4、TiN、AIN等)、纯金属(Pt、Ru、Ag等)、到III-V族化合物等。

无

是否允许代理商参加

是

是否接受联合体参加

否

是否允许合同分包

否

合同履行期限

自合同签订之日起60个日历天内完成所供货物的运输、安装、调试，达到技术验收标准；对所供货物的免费配套服务期限按合同条款执行。

履约地点

山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区信息楼集成电路学院

付款方式

签订合同后，采购人向供应商预付合同金额的80%；供应商在合同约定交货内将货物送到采购人指定地点，并完成安装、调试，且在供货期间无任何违约行为，经采购人技术验收合格，采购人在收到供应商开具的增值税专用发票10个工作日内向供应商支付合同金额的20%。否则，按合同约定扣除相应违约金后，支付剩余合同金额。

履约保证金

合同金额的5%。

供应商应在中标（成交）通知书发出后1内、签订合同前，将履约保证金以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交给采购人。免费配套服务期满，以支票、汇票、本票提交的，采购人在收到供应商退还履约保证金申请后5个工作日内，按审核意见扣除违约金（如有违约）后一次性无息退还；以保函形式提交的，采购人在收到供应商退还履约保函申请后5个工作日内，按审核意见向出具保函的机构提出索赔（如有违约）或将保函原件退还给供应商（如无违约）。

注：如以保函形式提交，须提交见索即付保函，且保函的失效日应晚于免费配套服务期满日3。

执行标准及验收标准

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。

服务要求

详见谈判文件第五部分商务、技术要求。

相关政策要求

详见谈判文件内具体要求。