一、项目概况： 货物名称：ICP刻蚀机； 数    量：1台； 资金来源：国拨资金+自筹资金； 资金落实情况：已落实； 实施地点：采购人指定项目地址； 简要技术要求： 第八章 货物需求一览表及技术规格 二、工艺技术指标要求： *1.等离子源功率≥1400W； *2.刻蚀速率：********μm～2μm/min； *3.刻蚀均匀性：片内≤3%； *4.深宽比：＞5:1； *5.氧化硅选择比：＞10:1； *6.刻蚀材料：硅； *7.支持的晶圆尺寸：6英寸； *8.刻蚀均匀性：片间、批间≤3%； *9.配置多边形传送系统平台，该平台支持扩展至少三个工艺腔体； *10.配置静电吸盘； 二、投标人资格要求： （1）在中华人民共和国境内注册具有独立法人资格的投标人，需提供有效的企业法人营业执照副本或事业单位法人证书的复印件，所提供资质文件必须处于有效期内；境外投标人应提供在境外当地有效的注册登记证明材料； （2）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书，授权书接受以下两种形式之一： ①制造商原厂授权； ②制造商在****公司或者一级代理商对投标人进行授权（须提供制造商与在****公司或者一级代理商关系的证明文件）； （3）投标人提供售后服务承诺书； （4）本项目不接受联合体投标； （5）未领购招标文件不可以参加投标。

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