中北大学感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购招标公告

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日期：2024-11-06 收藏项目

一、项目基本情况

1.项目编号：注册后查看

2.项目名称：感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购

3.采购计划文号：注册后查看

4.采购方式：公开招标

5.预算金额：第一包：7000000.00元；第二包：1860000.00元。

6.最高限价：第一包：7000000.00元；第二包：1860000.00元。

7.采购需求：

本次招标共2包，参与投标的投标人应按照招标文件要求按包编制投标文件，提交的投标文件应实质性上响应本招标文件的要求。

第一包

序号	标的名称	数量	单位	简要技术需求	备注
1	感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购	1	套	该系统由碳化硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、辅助特气设备及刻蚀掩膜图形化设备四部分构成，可用于实现SiC、Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4等材料刻蚀，要求如下： 1、射频功率：0-3000W； 2、样品尺寸：6 英寸，向下兼容； 3、刻蚀速率及刻蚀不均匀性：0.01~0.4μm/min；刻蚀不均匀性优于±5%； 4、终点监测激光波长：670 nm； 5、制冷温度范围：-30℃~80℃； 6、刻蚀材料：III-V族半导体、SiO2、Poly-Si、Si、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等； 7、支持气体：Cl2、BCl3、HBr、SF6、CHF3、CH4、H2、Ar、N2等。
是否允许代理商参加		是
是否接受联合体参加		否
是否允许合同分包		否
交货		合同签订后12内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。
履约地点		太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。
付款方式		合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。
履约保证金		1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。 2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。 3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。 4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。
执行标准及验收标准		详见招标文件内商务、技术要求。
服务要求		详见招标文件内商务、技术要求。
相关政策要求		详见招标文件内商务、技术要求。

注：上述表格“备注”栏中未特别标注为“进口产品”字样的，所报货物均必须为国产产品，且必须符合国家强制性标准。

第二包

序号	标的名称	数量	单位	简要技术需求	备注
1	可见至近红外高通量光谱系统	1	套	主要指标 1、焦距：≥498mm； 2、波长检测范围：300~1700nm； 3、分辨率≤0.1nm (@1200g/mm标准测试条件20μm狭缝)； 4、采样率≥50 fps@100kHz(FVB)； 5、可见探测器峰值量子效率：≥95%。
2	超宽频声场标定测试系统	1	套	★1、水声频率范围：10 Hz至1 MHz 2、动态范围：1mPa-10kPa 3、全带宽自噪声：≤1Paê 4、灵敏度：≥3mV/Paê 5、输出阻抗：50Ω 6、全触摸屏操作ê 7、采集和分析软件ê
是否允许代理商参加		是
是否接受联合体参加		否
是否允许合同分包		否
交货		合同签订后12内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。
履约地点		太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。
付款方式		合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。
履约保证金		1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。 2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。 3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。 4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。
执行标准及验收标准		详见招标文件内商务、技术要求。
服务要求		详见招标文件内商务、技术要求。
相关政策要求		详见招标文件内商务、技术要求。