甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目国际招标公告

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日期：2024-10-24 收藏项目

1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目编号：0762-

招标项目名称：甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	备注
1	半自动槽式SPM清洗机	1套	高温SPM工艺主要用刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗。	/
2	半自动槽式有机清洗设备	1套	主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。	/
3	手动片盒清洗机	1套	对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。	/
4	半自动槽式KOH刻蚀机	1套	常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。	/
5	半自动槽式BOE刻蚀机	1套	主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。	/

*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。

3. 投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品（半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；

是否接受联合体投标：不接受；

未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始：2010月2

招标文件领购结束：2010月3

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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