机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价公告
日期:2024-10-11
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****网上竞价邀****网上竞价采购需求一览表”中的拟采购标的物的商品名称、品牌、型号、数量、供货期、技术参数及售后服务等要求进行竞价,若无特别说明不接受表中指定品牌以外的其他品牌参与竞价;技术参数、供货期等若有负偏离,报价无效。2.项目预算:***********网上竞价公告
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:******** 15:56:05~******** 16:00:005.联系人:陈老师6.联系电话:********、********.若对采购需求一览表存疑,可咨询聂老师,电话:*********网上竞价采购需求一览表
序号
商品名称
品牌/型号
单价上限(元)
数量(单位)
预算金额(元)
技术参数
1
磁控溅射腔体
品牌:无 ;型号:VCT300
********
1/套
********
高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛光钝化处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:###路###路、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个
2
真空机组
品牌:无;型号:FF150
********
1/套
********
高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间###路:1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台
3
加热样品台
品牌:无;型号:DN100
********
1/套
********
高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。
报价包含所需附件、包装、运费、税金、保修期内维护等全部费用。
交货
:合同生效之日起 15 个日历日内。
交货地点###市松###路1号东莞理工学院。
货款支付方式:货物到达采购人指定的地点且安装、调试完毕,经采购人验收合格、办理完全部验收手续并收到增值税专用发票后,采购人在20个工作日内以银行转账方式向成交人支付合同总价的100%款项。
序号
商品名称
品牌/型号
单价上限(元)
数量(单位)
预算金额(元)
技术参数
1
磁控溅射腔体
品牌:无 ;型号:VCT300
********
1/套
********
高真空度,多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构,尺寸Ф280mmx300mm,全不锈钢结构。可内烘 烤到100~150℃,氩弧焊接,表面进行电化学抛光钝化处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;腔体打开方式采用上顶开盖,使得换靶更加容易。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下: 1、RF100法兰接口:1个(观察窗口); 2、CF16法兰接口:###路###路、放气阀); 3、CF150法兰接口:1个(接分子泵); 4、RF300法兰接口:1个(用来安装磁控靶和靶挡板); 5、样品台法兰接口:1个(用来安装样品台); 6、CF25法兰接口:1个
2
真空机组
品牌:无;型号:FF150
********
1/套
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高效能泵组,稳定抽速,快速达真空,低噪音。 机组包含: 1、复合分子泵及变频控制电源:1台 2、机械泵:RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀:1台 4、机械泵与真空室之间###路:1套; 5、CC150电动闸板阀:1台 6、DN40旁抽角阀:1台 7、压差式充气阀:1台
3
加热样品台
品牌:无;型号:DN100
********
1/套
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高精度温控,均匀加热面,快速升温,稳定控温;安装尺寸为4英寸的样品可定位自传,也可实现多靶共溅射;基片通过进口加热丝加热方式,加热温度:室温—600°C(抗氧化),由热电偶闭环反馈控制,可控可调;基片自转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调转动速度。
报价包含所需附件、包装、运费、税金、保修期内维护等全部费用。
交货
交货地点###市松###路1号东莞理工学院。
货款支付方式:货物到达采购人指定的地点且安装、调试完毕,经采购人验收合格、办理完全部验收手续并收到增值税专用发票后,采购人在20个工作日内以银行转账方式向成交人支付合同总价的100%款项。
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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