甬江实验室采购低压化学气相沉积设备项目(重招)-国际招标公告
日期:2024-09-14
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1.招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购低压化学气相沉积设备1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2.招标内容:
招标项目名称:甬江实验室采购低压化学气相沉积设备项目(重招)
项目实施地点:中国浙江
招标产品列表(主要设备):
序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
1 |
低压化学气相沉积设备 |
1套 |
在低压下进行的CVD反应,主要用于在晶圆表面形成一层连续密闭的薄膜。真空下的气体可以被更精确的控制、反应氛围更为洁净、分子自由程加长更利于均匀性,并且可兼容退火热处理工艺。设备可自动上下晶舟,能够同时完成微纳器件、微纳光学器件等所需的多晶硅、厚氧化硅、氮化硅的沉积,并且可以完成退火工艺。 |
/ |
3.投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4.招标文件的获取
招标文件领购开始:20
9月1
招标文件领购结束:20
9月2
招标文件售价:每标段售价500元人民币或80美元,售后不退。
5.投标文件的递交
5.1投标截止(开标
):20
10月1
9时00分(北京
)
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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