甬江实验室采购低压化学气相沉积设备项目国际招标澄清或变更公告(1)招标公告
日期：2024-08-27
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变更为：2根LPCVD炉管配备2台干泵（每根一台）（干泵参考品牌：Edwards、Ebara或Pfeiffer），投标人需在投标文件中注明所投干泵的品牌；********、“序号********”原为：LPCVD炉管本底真空≤5mtorr，漏率≤6mtorr/min，从大气状态抽至本底真空
≤8m###路长度小于3m，且无弯曲），现变更为：LPCVD炉管本底真空≤5mtorr，漏率...
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联系人：刘欣
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