概况：********项目内容：大行程高精度四维运动台********采购清单及技术要求：1、4个自由度需要同动，支持点动、连续运动和输入定长运动，各轴具有独立左右限位和零点检测信号；2、扫描范围：2500mm*2500mm，其中X方向有效行程：2500mm，Z方向有效行程2500mm，θz行程0-360°，θx行程±15°；3、位移定位精度≤20μm，角度定位精度≤********

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