本招标项目双面对准投影式光刻机【重新招标】招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，招标项目资金来自 国拨资金（资金来源），出资比例为 100 %。该项目已具备招标条件，现对双面对准投影式光刻机【重新招标】进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

招标编号：0730-2

设备名称：双面对准投影式光刻机【重新招标】

数量：壹套

项目概况与招标范围：双面对准投影式光刻机

3. 投标人资格要求

3.1 招标文件简要技术要求：设备用途： 双面对准投影式光刻机通过微缩投影成像方式，把掩模版上MEMS微结构图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面，并且能够通过背对准方式实现同一晶圆的双面加工。 其他详见招标文件具体要求。

3.2资格业绩要求：（1）资质要求：投标人应具备有效的营业执照或事业单位法人证书，投标文件中提供复印件。制造商资质要求：制造商应具备有效的营业执照或事业单位法人证书，投标文件中提供复印件。（2）财务要求：投标文件中提供2022年或2023年经审计的财务审计报告（至少包含资产负债表、现金流量表、利润表和审计报告）。（3）投标人业绩：投标人提供2020年1月至今研制同类设备2套以上（含2套）的成功案例，需提供双方签署盖章的有效合同或技术协议复印件，以合同签订为准。（4）信誉要求：在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或各级信用信息共享平台的查询结果）或信誉承诺书。设备用途：双面对准投影式光刻机通过微缩投影成像方式，把掩模版上MEMS微结构图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面，并且能够通过背对准方式实现同一晶圆的双面加工。其他详见招标文件具体要求。

3.3 本次招标不接受联合体投标。

4. 招标文件的获取

4.1发售：2024-07-25 09:00起至2024-08-01 16:00止。

4.2 发售地点：注册后查看

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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