标段名称：8A 4台外延专用Scrubber采购项目   招标内容和范围：8A 3台减压外延专用Scrubber+1台常压外延专用Scrubber   交货期/工期：PO后90天内   注：详细内容见招标文件，以招标文件为准。
二、投标人资格能力要求   1.资格要求：投标人必须为生产厂商，或其授权销售厂商，所投型号符合RFQ要求。
  
  2.业绩要求：所投常压外延scrubber型号要在2023年1月至投标截止日止在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂常压气相外延EPI工艺销售并安装至少5台以上的业绩。至少需提供3家以上量产半导体晶圆厂常压气相外延EPI工艺销售订单和安装记录需提供项目销售合同（订单）证明。（包括合同或订单首页，合同或订单签订日期，签字或盖章页），需提供验收记录及常压气相外延EPI工艺使用证据；所投减压外延scrubber型号要在2023年1月至投标截止日止在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂减压气相外延EPI工艺销售并安装至少8台以上的业绩。至少需提供3家以上量产半导体晶圆厂减压气相外延EPI工艺销售订单和安装记录。需提供项目销售合同（订单）证明。（包括合同或订单首页，合同或订单签订日期，签字或盖章页），需提供验收记录及减压气相外延EPI工艺使用证据
  3.联合体投标：不允许
  4.代理商投标：允许（提供原厂授权证明）
  5.信誉要求：（1）投标人未被国家企业信用信息公示系统网站（www.gsxt.gov.cn）列入严重违法失信企业名单；
  （2）投标人未被国家公共信用信息中心“信用中国”网列入失信惩戒名单；
  6.其他要求：提供会计师事务所出具的完整的企业2023或2022年度审计报告（复印件加盖公章），在经营活动中没有对本招标项目履行有重大影响的违法记录及质量问题，在最近三年内没有严重违约，在信用中国没有被列入黑名单，在最近三年内与华润微电子有限公司及其下属公司之间无不良合作记录或未在禁用期内的企业，在“企查查”中查询无招标人近三年离职员工担任股东或高管且与华润微电子有限公司及其下属公司无未决诉讼。  
 备注： 三、招标文件的获取   （一）获取     2007月2- 2007月2   

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