与配置：1、设备主要功能：通过物理化学相结合的方法，主要用于等离子体态的氧等离子体去胶、射频清洗。2、技术指标：********腔体尺寸：需≥Φ350mm*********极限真空度：需≤*********10-1Pa；********系统漏率：需≤5*********/s；********系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9*10-1Pa需≤10min。********刻蚀材料：包括但不限于光...

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