项目编号：JC

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心碳化硅高温离子激活炉采购项目

预算金额：900.000000万元（人民币）

最高限价（如有）：880.000000万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：微纳系统国际创新中心采购碳化硅高温离子激活炉一台，主要技术要求如下：

1.系统构成：碳化硅高温离子激活炉一台,包括完整的工艺系统、控制系统、冷却水循环换热设备、相关配套设备、备件和工艺菜单等

2.具备高温下SiC的离子激活退火工艺与p退火工艺，两种工艺只需切换工艺菜单，无需更换设备主要部件。对于高温离子注入后激活退火工艺，激活的Al离子浓度最高大于2E18 cm-3，需提供SiC中Al离子激活率数据和相关工艺菜单。对于碳化硅沟槽刻蚀后高温p退火修复沟槽底角工艺，要求退火后沟槽底部为圆角，表面光滑无毛刺，需提供退火前后的沟槽SEM图片和相关工艺菜单。

3.最大晶圆尺寸6英寸，可向下兼容2、4寸整晶圆以及不规则的小片

4.最高工作温度达2000℃，控温精度±1℃

本项目接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

合同履行期限：进口产品：开具信用证后10个月内设备安装调试合格。国产产品：合同签订后10个月内设备安装调试合格。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：3.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2022年度或2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：（1）代理商投标且所投产品为进口产品的，还应提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书，并明确承担一切售前、售后责任。3.4第3.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

：2006月2至2007月0，每天9:00至12:00，14:00至17:30。（北京，法定节假日除外）

售价：￥400.0元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止、开标

提交投标文件截止：2007月109点00分（北京）

开标：2007月109点00分（北京）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
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