上海交通大学薄膜等离子快速消除机国际招标公告
日期:2024-06-19
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一、项目基本情况 项目编号:******** 项目名称:上海交通大学薄膜等离子快速消除机 预算金额:450.******** 万元(人民币) 最高限价(如有):450.******** 万元(人民币) 采购需求:序号/ No.货物名称/Name of the goods数量/Quantity简要技术规格或用途/Main Technical Data1薄膜等离子快速消除机1套晶圆承载台下电极尺寸不小于240mm,带背氦冷却;温控范围超低温-150°C~400°C高温段兼容,并配置ACU(自动温控切换单元),电极适用于300W RF Bias功率。 合同履行期限:签订合同并收到信用证后12个月内 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:按商务部的《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》等相关规定 3.本项目的特定资格要求:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格,能提供上述产品及相应服务的代理商或生产厂家; 2)必须提供所投产品的生产商针对本次招标项目出具的独家授权书;3)具有招标文件中所需设备的供货和售后服务的能力;4)参加本次招标活动前3年内,投标人在经营活动中没有违法记录,无利用不正当竞争手段骗取中标,无行贿犯罪记录;
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联系人:刘欣
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邮箱:kefu@bidnews.cn
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