受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-06-18在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:采购TEL Lithius型号涂胶显影机(inline)及ASML XT1400F型号DUV光刻机旧设备，各1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0617-244091HY1649
招标项目名称:陕西光电子先导院科技有限公司涂胶显影机(inline)及DUV光刻机采购
项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	TEL Lithius型号涂胶显影机(inline)旧设备	1台	Lithius涂胶显影设备用于8英寸(200mm)notch wafer inline ArF硅光工艺平台光刻制程中的涂胶显影工艺
2	ASML XT1400F型号DUV光刻机旧设备	1台	ASML XT1400F设备用于8英寸(200mm)notch wafer inline 193nm ArF硅光工艺平台，通 过投影成像方式，把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的曝光在涂有胶层的硅片表面实现光刻制程中的曝光工艺

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人：
a.合法注册（投标人为独立法人）
b.如投标人非设备制造厂商，须提供原装设备购买合同或归属权证明资料，以证明材料须能证明此设备属于投标人。
c.投标人持有开户银行在开标日期前三个月内开具的资信证明（境内投标人由其开立基本账户的银行开具）。
d.持有单位负责人授权书。
2) 业绩要求:近三年（2021年1月起至今）投标同类产品（至少包含DUV光刻机设备）在中国大陆或港澳台地区具有正常使用业绩。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2024-06-18
招标文件领购结束:2024-06-25

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联系人：刘欣
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