上海交通大学磁控薄膜沉积系统国际招标公告

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日期：2024-06-12 收藏项目

项目名称：上海交通大学磁控薄膜沉积系统

预算金额：290.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：290.000000 万元（人民币）

采购需求：

序号/ No.

货物名称/

Name of the goods

数量/Quantity

简要技术规格或用途

/Main Technical Data

交货期

/ Delivery schedule

磁控薄膜沉积系统

1套

镀膜均匀性指标：3英寸靶枪在6英寸硅片镀制150nm以上的薄膜，均匀性不大于+/-5%，从基片中心到基片边缘每隔0.5英寸取一个测量点（去掉5mm边缘），使用台阶仪对每个点测量三次，取平均值，均匀性计算公式：±均匀性=((最大–最小) / (2 ×平均))× 100%

签订合同并收到信用证后12个月内。/CIP Shanghai Jiao Tong University within 12 months after signing the contract and receiving the L/C

合同履行期限：签订合同并收到信用证后12个月内

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

按商务部的《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》等相关规定

……

三、获取招标文件

：2006月1 至 2006月1，每天9:00至11:30，13:30至16:00。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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