招 标 人：青海黄河上游水电开发有限责任公司

买

方：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司

注册后查看受青海黄河上游水电开发有限责任公司的委托，就青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司还原炉工艺优化技术服务项目进行公开招标。投标人中标后与买方签订合同。现将有关事宜公告如下：

1.1项目概况

青海黄河水电新能源分公司是一家电子级多晶硅生产企业，电子级多晶硅产能3300 吨/年。现有电子级多晶硅产品已批量应用至 3-6 英寸、8 英寸半导体硅片制造领域，并通过 12 英寸半导体硅片实验室测试和小批量供货。本项目旨在现有电子级多晶硅生产线的基础上，借助先进的数值模拟软件，对 CVD 还原炉开展热场、流场稳定性及硅棒致密性研究，主要包括对 9 对棒还原炉进行三维建模，研究最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线，研究最稳定的流场、热场，提高还原过程 CVD 化学气相沉积的均匀性和稳定性，降低电子级多晶硅棒的米花比例，进而提高硅棒致密度和可利用率，同时形成 9 对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。

1.2项目招标范围及要求

1.2.1 招标范围

1.2.1.1 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司现有 9 对棒还原炉生产装置基础上，利用先进的数值模拟软件对还原炉内热场、流场稳定性及硅棒致密性进行建模分析，模拟项目主要包括 9 对棒还原炉内气体流动、辐射传热、传导传热、对流传热、电流棒加热以及对硅沉积的气相和表面化学反应等内容，研究确定最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线，降低电子级多晶硅棒的杂质含量及米花比例，提高硅棒致密度和可利用率，同时形成 9 对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。

1.2.1.2 研究要求

1.2.1.2.1 通过对 9 对棒还原炉内喷嘴建模分析，在不改变还原炉结构、炉内喷嘴布置及电源系统等硬件条件的情况下，对喷嘴的孔径、高度、结构进行优化，开展炉内流场、热场模拟，使炉内温度和边界层厚度不均匀性得到优化。

1.2.1.2.2 通过对 9 对棒还原炉内进料配比和电流曲线进行分析，计算得出最适宜的工艺配方，提升硅棒沉积速率，提高沉积层致密度，降低电子级多晶硅棒的米花比例。

1.2.1.2.3 提供项目实施阶段的模拟软件临时许可使用权及相关培训技术服务。

1.2.2 项目工期：

合同生效后3个月内提交供买方审核的初版技术方案；买方审核并出具修改意见后，于 7 日内提供最终版技术方案。

1.3资金来源

本项目由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司利用自有资金建设，资金已落实。

1.4投标人资格

1.4.1 法人地位

投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的多晶硅生长、单晶硅生长等专业领域定制化的模拟仿真软件开发（或授权）

项目合作和技术咨询服务企业或代理商。

本项目不接受联合体投标，不允许转让及分包。

1.4.2 商业信誉

投标人应具有良好的商业信誉。不存在被列为失信被执行人的情形，具体认定以信用中国(www.creditchina.gov.cn）网站检索结果为准。

1.5业绩

投标人在投标基准日期近五年内，具有至少 1 项在多晶硅还原、硅单晶生长等专业领域技术服务业绩（附合同复印件）。

1.6招标文件发售

2024 年 5 月 24 日 18:00 时至 2024 年 5 月 30 日 0:00 时。

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联系人：刘欣
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