中国科学院西安光学精密机械研究所感应耦合等离子体刻蚀设备招标公告

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日期：2024-05-21 收藏项目

项目名称：感应耦合等离子体刻蚀设备

预算金额：390.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：390.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

标的名称

采购包预算金额

（万元）

数量

简要技术需求或服务要求

是否允许采购进口产品

感应耦合等离子体刻蚀设备

390

1项（套）

感应耦合等离子刻蚀设备（ICP刻蚀机）主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的器件研发和制造中半导体薄膜的刻蚀，服务于高性能大规模光子集成芯片研究，主要由反应腔、射频源、气路系统、控制系统、下电极、真空系统等构成，主要技术指标如下：

*1、晶圆尺寸：8英寸，向下兼容；

*2、SiO2、SiN刻蚀垂直度：>85°；

*3、刻蚀均匀性：<±5%；

（具体技术需求详见第五章采购需求）

否

合同履行期限：合同签订后6个月内

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

（1）《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）；

（2）《关于开展政府采购信用担保试点工作的通知》（财库【2011】124号）；

（3）关于印发《政府采购促进中小企业发展管理办法》的通知（财库【2020】46号）；

（4）《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库【2014】68号）；

（5）《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）。

3.本项目的特定资格要求：1.供应商须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条之规定、《中华人民共和国政府采购法施条例》十七条之规定、《中华人民共和国财政部令第87号令》相关规定：2.落实政府采购政策需满足的资格要求：2.1 中小企业政策本项目不专门面向中小企业预留采购份额。2.2 其它落实政府采购政策的资格要求：/3.本项目的特定资格要求：3.1必须是在中华人民共和国注册的企事业单位，具有独立法人资格且具有有效营业执照（带二维码或其它有效形式）；且有能力提供本次采购服务的供应商；3.2供应商必须购买《招标文件》并登记备案，否则无资格参加本次投标；3.3本项目不接受联合体投标；3.4供应商不得为“信用中国”网站中列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的供应商，不得为中国政府采购网政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的和地域范围内）；3.5法律法规所规定的其它要求。