一、项目基本情况 项目编号：HCZB-2024-ZB0349 项目名称：等离子增强化学气相沉积系统 预算金额：320.******** 万元（人民币） 采购需求：碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成，等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺，具有沉积速率快，沉积温度低的特点，其原理是在射频源驱动下，通过感应耦合ICP方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成高密度等离子体###路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体；等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质，在衬底材料（例如硅、砷化镓等半导体材料）上沉积成固体薄膜，对推进碳###路的研发非常重要。具体详见招标文件第四章采购需求。 合同履行期限：合同签订后240天交货并安装完毕 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“****网站、中****网（********）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购**购买招标文件并登记备案，未向采购**购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业

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