一、项目基本情况 项目编号：HCZB-2024-ZB0348 项目名称：原子层刻蚀系统 预算金额：390.******** 万元（人民币） 采购需求：碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，针对碳纳米管衬底的半导体器件，由于碳纳米管直径在几个纳米的范围，在等离子的轰击下很容易被破坏，感应耦合原子层刻蚀系统凭借低离子损伤，高精度的刻蚀速率控制，最大程度上减小栅介质刻蚀过程对碳纳米管的损伤。利用原子层沉积的模式精确地控制对介质的刻蚀速率，对氧化铪、氧化铝和氧化钇介质薄膜的刻蚀速率达到小于1nm/cycle,实现对高K栅介质的高精度刻蚀,推动碳###路的发展。具体详见招标文件第四章采购需求。 合同履行期限：合同签订后240天交货并安装完毕 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“****网站、中****网（********）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购**购买招标文件并登记备案，未向采购**购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业。

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